TPS-mini 渦輪分子泵
TPS-mini 便攜式真空解決方案將 TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵和 10 L/min 干式隔膜泵組合到一起，極具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。該系統(tǒng)在同類產(chǎn)品中體積小、重量輕，可通過抽氣口法蘭將其安裝在實(shí)驗(yàn)臺(tái)或直接安裝在系統(tǒng)上的任意位置。一體式顯示器可以從各種主動(dòng)式真空計(jì)讀取系統(tǒng)壓力。
TPS-mini 是一款即用型干式泵組，是小體積真空室和真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的理想真空解決方案。開關(guān)簡(jiǎn)單易用，只需輕按一下即可實(shí)現(xiàn)高真空度。

特性
-即插即用式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的一鍵式操作
-體積小巧且輕便，便于攜帶和集成到任何位置
-一體式電子器件和顯示器可讀取從大氣壓到極限真空的全量程壓力
-嵌入式 70 L/s 渦輪分子泵，可實(shí)現(xiàn)低至 1 x 10-8 mbar 的運(yùn)行
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)渦輪分子泵和壓力的全面控制
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動(dòng)設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實(shí)現(xiàn)渦輪分子泵的運(yùn)行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)（即壓力）的記錄
-電壓范圍寬 (90–240 V)，可滿足世界各地的運(yùn)行要求
-通過 CE/CSA 認(rèn)證

TPS 緊湊型渦輪分子泵組
TPS 緊湊型泵組是一種便攜式無油渦輪分子泵機(jī)組。配備 TwisTorr 74 FS 或 305 FS 渦輪分子泵，并以安捷倫 3 m3/h (60 L/min) 渦旋式干泵技術(shù)為支撐，以小巧體積提供市面上極快的抽真空速度。大尺寸壓力顯示器能夠讀取各種主動(dòng)式真空計(jì)讀數(shù)。
TPS 緊湊型泵組可以在世界各地的電壓下運(yùn)行，并通過了 CE/CSA-UL 認(rèn)證。
該系統(tǒng)是大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)應(yīng)用和醫(yī)療應(yīng)用中大 100 L 中型真空腔室的理想選擇。開關(guān)簡(jiǎn)單易用，只需輕按一下即可實(shí)現(xiàn)高真空度。

特征
-用于快速抽真空的集成式 3 m3/h 渦旋式干泵 (IDP-3)
-即插即用式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的一鍵式操作
-設(shè)計(jì)緊湊，便于攜帶
-一體式電子器件和顯示器可讀取從大氣壓到極限真空的全量程壓力
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的全面控制
-提供多種渦輪分子泵尺寸，可滿足您的應(yīng)用需求
-高渦輪分子泵壓縮比可實(shí)現(xiàn)低至 1 x 10-9 mbar 的極限真空度
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動(dòng)設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實(shí)現(xiàn)泵的運(yùn)行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)（即壓力）的記錄
-電壓范圍寬 (90–240 V)，可滿足世界各地的運(yùn)行要求
-套裝中包含抽氣口濾網(wǎng)
-通過 CE/CSA 認(rèn)證

TPS-flexy 渦輪分子泵組
Agilent TPS-flexy 渦輪分子泵組是一套靈活、可定制的高真空系統(tǒng)。提供三種前級(jí)干泵（IDP-7 渦旋式干泵、IDP-3 渦旋式干泵或 MD-1 隔膜泵）和兩種渦輪分子泵（Twis Torr 74 FS 和 305 FS）選項(xiàng)。提供 40 多種選項(xiàng)，您可以從中找到適合您應(yīng)用的組合
TPS-flexy 包使您可以自行選擇組件并配置系統(tǒng)，以應(yīng)對(duì)各種挑戰(zhàn)性應(yīng)用?？焖?gòu)钠脚_(tái)上卸下渦輪分子泵，將其直接安裝在系統(tǒng)中，大程度提高抽真空速度。

特征
-靈活性：渦輪分子泵可在數(shù)分鐘內(nèi)從系統(tǒng)中輕松拆卸，并以任意方向安裝在真空室上
-定制化：您可以根據(jù)具體需求從 50 多種配置中進(jìn)行選擇，構(gòu)建理想的系統(tǒng)
-具備真空計(jì)讀數(shù)功能，可在渦輪分子泵控制器 LCD 顯示屏上提供實(shí)時(shí)壓力讀數(shù)
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的全面控制
-可服務(wù)性：對(duì)各個(gè)組件均提供安捷倫高級(jí)更換服務(wù)，實(shí)現(xiàn)方便快捷的現(xiàn)場(chǎng)更換
-快速到貨：基于標(biāo)準(zhǔn)組件，實(shí)現(xiàn)快速配置、接收和組裝
-提供多種渦輪分子泵尺寸，可滿足您的應(yīng)用需求
-提供三種電壓選項(xiàng)（100 V、120 V 和 240 V），可適應(yīng)世界各地的運(yùn)行要求
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動(dòng)設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實(shí)現(xiàn)泵的運(yùn)行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)（即壓力）的記錄

TPS-移動(dòng)型渦輪分子泵組
TPS 移動(dòng)型系統(tǒng)是一種位于小體積滾動(dòng)推車上的可定制大抽速泵組。從 400 多種配置中進(jìn)行選擇，其中包括以 IDP 或 TriScroll 渦旋式干泵（抽速 3–30 m3/h），或 DS 旋片泵（抽速 6–30 m3/h）作為前級(jí)泵，泵速范圍為 70–700 L/s 的小型和中型 TwisTorr 渦輪分子泵。TPS 移動(dòng)型系統(tǒng)的多種選擇包括新的 TwisTorr 305 技術(shù)，提供高壓縮比 (TwisTorr 305 FS) 和高通量 (TwisTorr 305 FSQ) 配置。
當(dāng)需要對(duì)大型系統(tǒng)抽真空并保持盡可能大的可移動(dòng)性時(shí)，TPS 移動(dòng)型系統(tǒng)是理想的解決方案。添加正確的真空計(jì)以監(jiān)測(cè)系統(tǒng)壓力。
有關(guān)采用 TwisTorr 74 FS 或 V-551 渦輪分子泵的 TPS 移動(dòng)型配置，請(qǐng)聯(lián)系安捷倫以獲取供貨情況和訂購(gòu)幫助。

特征
-移動(dòng)性：滾動(dòng)推車可幫助您將真空泵機(jī)組移動(dòng)至任何所需位置
-靈活性：易于拆卸的渦輪分子泵可以任意方向快速安裝在真空腔室上
-定制化：您可以根據(jù)具體需求從 400 多種配置中進(jìn)行選擇，構(gòu)建理想的系統(tǒng)
-一體式真空計(jì)讀數(shù)功能，可顯示系統(tǒng)壓力
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的全面控制
-可服務(wù)性：對(duì)各個(gè)組件均提供安捷倫高級(jí)更換服務(wù)，實(shí)現(xiàn)方便快捷的現(xiàn)場(chǎng)更換
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動(dòng)設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-提供多種渦輪分子泵 (70-700 L/s) 以及干式或油式前級(jí)泵 (3-30 m3/h) 供您選擇
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實(shí)現(xiàn)泵的運(yùn)行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)（即壓力）的記錄

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片